凈化電子廠房潔凈檢測(cè)部門--天津中達(dá)檢測(cè)濟(jì)南分公司 因?yàn)樵谶^(guò)于干燥的廠房?jī)?nèi)容易產(chǎn)生靜電,會(huì)損壞CMOS集成度。一般來(lái)說(shuō),電子車間的溫度應(yīng)控制在22℃左右,相對(duì)濕度應(yīng)控制在50-60之間(特殊潔凈車間有相關(guān)溫濕度規(guī)定)。此時(shí),能有效消除靜電,讓人心情舒暢。芯片生產(chǎn)車間、集成電路潔凈室和磁盤制造車間是電子制造潔凈室的重要組成部分。
潔凈室的送風(fēng)量應(yīng)取以下三個(gè)較大值:保證電子制造廠潔凈室空氣潔凈度等級(jí)的送風(fēng)量;根據(jù)熱濕負(fù)荷計(jì)算確定電子廠潔凈室的送風(fēng)量;房間內(nèi)供應(yīng)的新鮮空氣量。
電子廠房潔凈檢測(cè) 10萬(wàn)級(jí)無(wú)塵室主要采用的送風(fēng)方式: 1.局部孔板頂棚送風(fēng); 2.帶擴(kuò)散板高效空氣過(guò)濾器頂棚送風(fēng); 3.上側(cè)墻送風(fēng)等三種送風(fēng)方式。10萬(wàn)級(jí)無(wú)塵室主要采用的回風(fēng)方式: 1.單側(cè)墻下部布置回風(fēng)口; 2.當(dāng)采用過(guò)道回風(fēng)時(shí),在過(guò)道內(nèi)均勻布置回風(fēng)口或在過(guò)道端部集中設(shè)置回風(fēng)口。
電子凈化廠注意要點(diǎn):防止灰塵、防靜電、防止負(fù)壓;集成電路生產(chǎn)(分為光掩膜、前道工序、后道工序),顯示器生產(chǎn)(分為L(zhǎng)CD,PDP,TFT,VFD,顯像管),硅材料 生產(chǎn)(單晶硅、多晶硅),光纖生產(chǎn),制卡業(yè),表面貼裝(SMT),分離器件生產(chǎn)(功率一、二、三級(jí)管,電容、電阻),整機(jī)組裝生產(chǎn)(機(jī)頂盒、數(shù)字投影儀、電子數(shù)碼相機(jī)),自控元器件生產(chǎn)(傳感器、執(zhí)行機(jī)構(gòu))等。微電子工業(yè)是當(dāng)前對(duì)潔凈室要求較高工業(yè)潔凈業(yè)-如現(xiàn)代工業(yè)中的液晶、光纖等的生產(chǎn),同樣均有潔凈度的要求。
千級(jí)無(wú)塵車間的潔凈度標(biāo)準(zhǔn)是0.5微米的*容許粒子濃度小于35200(pc/m3),5微米的*容許粒子濃度小于2930(pc/m3);百級(jí)車間的潔凈度標(biāo)準(zhǔn)是每立方米將小于0.5微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個(gè)以下。可以看出潔凈度等級(jí)越高的車間,標(biāo)準(zhǔn)也更高,要求車間內(nèi)的塵埃粒子數(shù)量更少,這樣無(wú)塵車間才能更潔凈。 回風(fēng)口風(fēng)速(米/秒): 1.無(wú)塵室回風(fēng)口不2; 2.過(guò)道內(nèi)回風(fēng)口不4。
電子廠房潔凈檢測(cè) 電子廠凈化工程是電子工業(yè)廠房建造不可缺少的一部分,也是對(duì)生產(chǎn)環(huán)境的一種改善。電子廠潔凈車間內(nèi)應(yīng)設(shè)置局部排風(fēng)罩和局部送風(fēng)系統(tǒng)。當(dāng)采用自然通風(fēng)時(shí),必須設(shè)有機(jī)械通風(fēng)設(shè)施。
目前對(duì)于大規(guī)模集成電路生產(chǎn)車間空調(diào)系統(tǒng)具有以下特點(diǎn):1、大規(guī)模集成電路工藝布置多采用開(kāi)放環(huán)境結(jié)合微環(huán)境的方法,在保證產(chǎn)品質(zhì)量的同時(shí),還可達(dá)到減少建設(shè)投資、降低運(yùn)行費(fèi)用的目的。2、對(duì)于空氣潔凈度等級(jí)為1-5級(jí)時(shí),基本上采用單向流或混合流;空氣潔凈度等級(jí)為6-9級(jí)時(shí),基本上采用非單向流。3、為有效降低能耗、降低空氣處理時(shí)冷熱抵消現(xiàn)象,對(duì)于新風(fēng)系統(tǒng)常采用集中處理形式。
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