HORIBA堀場 晶圓背面壓力控制器GR-511F北崎供應(yīng)

HORIBA堀場 晶圓背面壓力控制器GR-511F北崎供應(yīng)

晶圓背面壓力控制系統(tǒng)

GR-511F 可對晶圓背面溫度控制不可或缺的氦氣和氬氣等導(dǎo)熱氣體進行穩(wěn)定且高精度的壓力控制。 配備高速、高分辨率的壓電閥和質(zhì)量流量傳感器，不僅可以準確穩(wěn)定地控制微小壓力，還可以測量流量。

這是一款配備數(shù)字控制電路的自動減壓閥，該電路使用高精度壓力傳感器和高分辨率和快速響應(yīng)的壓電閥。 可通過各種外部信號遠程控制，壓力自動調(diào)節(jié)。
由于氣體接觸部分采用全金屬，死體積*小，因此非常適合腐蝕性氣體和低蒸氣壓氣體。

• 即使在受瞬時波動影響的線路上也能實現(xiàn)穩(wěn)定的壓力控制。
• 簡化的氣體管路可顯著降低死體積
• 鼓泡液體材料時任意設(shè)置容器中的壓力
• 支持數(shù)字/模擬、DeviceNet? 和 EtherCAT 通信
• 使用 Tornado Flow 方式的高效汽化可在低溫下實現(xiàn)穩(wěn)定的汽化。 該型號非常適合作為半導(dǎo)體工藝中使用的“液體材料，例如高 k 材料”的穩(wěn)定汽化系統(tǒng)。 用于載氣控制的質(zhì)量流量控制器和用于液體材料流量測量的質(zhì)量流量計的設(shè)置完善了高效的汽化系統(tǒng)。
  

GR-511F 規(guī)格

尺寸 （單位： mm）

GR-511F 尺寸

• 使用經(jīng)過驗證的電容式壓力傳感器可在低壓下實現(xiàn)的壓力控制。
• 在壓力控制期間對氣體流量進行高精度監(jiān)測。