HORIBA掘場PD10-EX掩模異物檢查器北崎供應(yīng)

HORIBA掘場PD10-EX掩模異物檢查器北崎供應(yīng)

通過一個單元完成異物的檢測和去除，追求半導(dǎo)體制造過程中的效率和良率提高

自 1984 年推出以來，半導(dǎo)體制造曝光過程中不可或缺的異物檢測系統(tǒng) PD 系列不斷進(jìn)化以滿足客戶需求，今年是該活動成立 40 周年。

* PD10-EX 配備了基于廣受好評的?PD10?型號的異物去除功能，只需一臺設(shè)備即可完成從檢測到去除的整個過程。 此外，我們還在內(nèi)部開發(fā)了一個支持掩模和掩模自動輸送的裝置，為提高半導(dǎo)體制造過程的效率和產(chǎn)量做出了貢獻(xiàn)。

半導(dǎo)體行業(yè)對分析、測量和控制的需求正以前所未有的速度變得更加復(fù)雜和多樣化。 “PD10-EX”用于異物成分分析和表膜※1我們正在努力擴(kuò)展可以執(zhí)行一站式薄膜厚度測量的功能，并將在未來繼續(xù)提供新的可能性。

1. 通過集成異物檢測和去除流程，提高工作效率和產(chǎn)量

>95% 異物去除率※2我們的?RP-1?自動標(biāo)線和掩模異物去除系統(tǒng)的功能與?PD10?集成在一起。 現(xiàn)在可以自動執(zhí)行從檢測異物到去除異物的整個過程。 此外，它還配備了一個多端口，允許同時設(shè)置兩個包含標(biāo)線和掩模的情況，并且可以連續(xù)檢測和去除異物。

*2 5 μm 玻璃珠粘附在玻璃表面的內(nèi)部測試結(jié)果。 效果可能因使用方法和條件而異。

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2. 通過與自動運輸設(shè)備聯(lián)動，促進(jìn)制造過程的自動化和省力化

我們開發(fā)了自己的設(shè)備前端模塊 （EFEM），該模塊是與半導(dǎo)體制造廠的 OHT（高架升降機運輸：一種自動運輸裝置，使輸送物體保持懸浮狀態(tài)并在安裝在天花板上的軌道軌道上運行）連接所必需的。 我們靈活應(yīng)對客戶要求的規(guī)格，為自動化和省力化做出貢獻(xiàn)，這對于提高生產(chǎn)率、解決勞動力短缺和簡化制造領(lǐng)域非常重要。