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HORIBA掘場CS-100F1光纖化學(xué)濃度監(jiān)測儀北崎國際

發(fā)布時間:2025/02/12 14:16:20 發(fā)布廠商:北崎國際貿(mào)易(北京)有限公司 >> 進(jìn)入該公司展臺

HORIBA掘場CS-100F1光纖化學(xué)濃度監(jiān)測儀北崎國際

HORIBA掘場CS-100F1光纖化學(xué)濃度監(jiān)測儀北崎國際


這是一款光纖化學(xué)濃度監(jiān)測儀,可實(shí)現(xiàn)對半導(dǎo)體制造過程(如清洗和蝕刻)中使用的化學(xué)品的在線實(shí)時測量。

可以進(jìn)行在線實(shí)時測量。 使用單個濃度監(jiān)測儀可以同時測量多達(dá)四種類型的化學(xué)品(化學(xué)溶液或范圍),使其適合使用單槽和單晶片清潔設(shè)備進(jìn)行測量。

?

化學(xué)濃度

交流無電源 (100~240V)傳輸功率觸點(diǎn)輸出RS-232C 系列

多重監(jiān)控

使用單個濃度監(jiān)測儀*多可測量 4 種濃度(化學(xué)溶液或范圍)。

測量周期短,響應(yīng)時間短

支持 300 mm 過程的濃度控制,測量周期約為 3 秒。 除了多槽清洗外,我們還支持單槽和單晶片清洗設(shè)備的精細(xì)濃度管理。

2 種類型可供選擇

您可以選擇強(qiáng)調(diào)實(shí)時濃度跟蹤并直接集成到主管中的在線單元類型,也可以選擇強(qiáng)調(diào)穩(wěn)定性并可以使用監(jiān)視器輸出的反饋進(jìn)行控制的單元類型。

CS-151F1 系列 CS-152F1 系列 CS-150F1 型
測量目標(biāo) SC-1
(氨/水中的過氧化氫)
SC-2
(鹽酸/水溶液中的過氧化氫)
SPM
(硫酸/水中的過氧化氫)
一臺設(shè)備*多可進(jìn)行 4 種類型(化學(xué)溶液或范圍)的多重監(jiān)控。
測量原理 吸收光譜
濃度計算原理 溫度補(bǔ)償多變量分析方法
測量范圍
(質(zhì)量百分比)
新罕布什爾州3
0.00%?1.00%
H
2O2
0.00%?5.00%
H
2O:
94.0%?100.0%
鹽酸:
0.00%?2.00%
H
2O2
0.00%?2.00%
H
2O:
96.0%?100.0%
H2所以4
70.0%?96.0%
H
2O2
0.00%?10.00%
H
2O:
4.0%?30.0%
重現(xiàn)
性準(zhǔn)確度(室溫變化± 1°C 以內(nèi))(
質(zhì)量百分比)
新罕布什爾州3:±0.15%
H
2O2:±0.30%
H
2比例:±1.5%
碳酸鹽含量:±0.15%
H
2O2:±0.15 %
H
2比例:±1.5%
H2所以4:±0.50%
H
2O2:±0.50%
H
2比例:±1.5%
樣品液體溫度 20 至 80°C(使用在線單元)
20 至 30°C(使用單元)
測量周期 約 3 秒
液晶顯示部分
顯示和輸入內(nèi)容
?第 1 組件:濃度測量 (%)
?第 2 組件:濃度測量 (%)
?第 3 組件:濃度測量 (%)
?第 1 和第 2 組件:濃度警報狀態(tài)
?錯誤代碼
?并聯(lián)濃度警報輸出禁用
?串行/并聯(lián)狀態(tài)
?背景校正信息
串行輸入
RS-232C
- 串行/并聯(lián)狀態(tài)切換
- 測量數(shù)據(jù)傳輸請求
- 設(shè)置第 1 組分和第 2 組分濃度警報值
- 并聯(lián)濃度警報輸出狀態(tài)(啟用/禁用)
?測量目標(biāo)化學(xué)品切換
并行輸入 帶光耦合器隔離的電壓輸入(12 至 30 VDC)
?并聯(lián)濃度警報輸出
?待測
化學(xué)溶液的切換 ?背景校正
并行輸出 帶光耦合器隔離的集電極開路輸出 ON時
的*電流:5 mA DC(無內(nèi)部保護(hù)電阻)
OFF時的*點(diǎn)火電壓:30 VDC
?4種*成分濃度警報
- 4種第二成分濃度警報
?設(shè)備異常
?正在進(jìn)行

?被測
化學(xué)藥劑種類 ?本底校正狀態(tài)
化學(xué)溫度輸入 接線端子(端子螺釘 M3)
?鉑電阻溫度計檢測器:Pt100(Pt 傳感器必須由客戶準(zhǔn)備。 )
模擬輸出 ? 4 種類型的第 1 組分濃度警報:4 至 20 mA
? 4 種類型的第 2 組分濃度警報:4 至 20 mA
* 我們可以處理測量范圍規(guī)格以外的其他業(yè)務(wù)。 請在訂購時注明。
光纖 CS-100F1 系列光纖 (安裝溫度 25±15°C)
樣品池 我們?yōu)樗璧幕瘜W(xué)類型提供各種樣品池(在線樣品池和樣品池單元)。
權(quán)力 AC 100V 至 230V(單相) ± 10%,50/60Hz,約 100VA
外形尺寸 205 (W) × 329 (D) × 269 (H) mm(不包括突出部分)
質(zhì)量 約 11 公斤
可滾動

<注> 除上述化學(xué)品類型外,請單獨(dú)與我們聯(lián)系。

?

尺寸等(單位:mm)

HORIBA掘場CS-100F1光纖化學(xué)濃度監(jiān)測儀北崎國際


HORIBA掘場
CS-100F1
光纖化學(xué)濃度監(jiān)測儀
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溫馨提示:為規(guī)避購買風(fēng)險,建議您在購買產(chǎn)品前務(wù)必確認(rèn)供應(yīng)商資質(zhì)及產(chǎn)品質(zhì)量。

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