CS-100 Series

獨(dú)立式化學(xué)藥液濃度計(jì)

CS-100 系列為半導(dǎo)體制程各種清洗和刻蝕工藝的藥液提供完整的、高精度的化學(xué)藥液濃度計(jì)。除高速響應(yīng)和緊湊設(shè)計(jì)等特點(diǎn)外，濃度計(jì)還可實(shí)時(shí)測量每種組分的濃度，通過報(bào)警提醒化學(xué)藥液變化和自動供應(yīng)的時(shí)間。具備執(zhí)行短周期測量的能力，可準(zhǔn)確檢測濃度變化。

可測量化學(xué)藥液示例

事業(yè)部: 半導(dǎo)體

產(chǎn)品分類: 濕法過程控制

制造商: HORIBA Advanced Techno Co., Ltd.

Model name	CS-100
Measurement principle	Absorption spectroscopic method
Sample temperature	20 to 30 Degree C
Ambient temperature	20 to 25 Degree C
Components	Max. 4 components
Chemical range	Max. 4 ranges
Communication	Parallel I/O, Analog output, RS-232C
Analog output (4-20 mA)	Max. 2 components
Dimension	205(W) X 329(D) X 269(H)mm
Power source	DC 24V
Consumable parts	Halogen lamp
Wavelength	UV/NIR
Wetted material	PTFE, PFA, Sapphire or Quartz

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Schematics

CS-137

HORIBA獨(dú)立式化學(xué)藥液濃度計(jì)

HORIBA日本堀場

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