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HORIBA光纖型高溫磷酸濃度計(jì)CS-620F可以在單槽或單晶圓清洗系統(tǒng)中檢測(cè)多種化學(xué)藥液

發(fā)布時(shí)間:2025/02/13 14:25:09 發(fā)布廠(chǎng)商:北崎國(guó)際貿(mào)易(北京)有限公司 >> 進(jìn)入該公司展臺(tái)

CS-620F

HORIBA光纖型高溫磷酸濃度計(jì)CS-620F可以在單槽或單晶圓清洗系統(tǒng)中檢測(cè)多種化學(xué)藥液

光纖型高溫磷酸濃度計(jì)

關(guān)鍵詞:3D NAND、SiN(氮化硅)、刻蝕、高溫磷酸,

在 3D NAND 制程中,沉積幾十層二氧化硅和氮化硅,并使用高溫磷酸選擇性地刻蝕氮化硅層。
在該制程中,通過(guò)控制化學(xué)藥液的濃度和溫度,可以獲得期望的刻蝕速率。
成熟型號(hào)很難測(cè)量高溫化學(xué)藥液,但 CS-620F 能夠在高達(dá) 170℃ 的高溫下進(jìn)行測(cè)量。
使用吸收光譜進(jìn)行連續(xù)測(cè)量,與其他方法相比,需要的維護(hù)和耗材更少。

事業(yè)部: 半導(dǎo)體
產(chǎn)品分類(lèi): 濕法過(guò)程控制
制造商: HORIBA Advanced Techno Co., Ltd.

主要特征

可測(cè)量高達(dá) 92% 的高濃度磷酸

無(wú)需冷卻機(jī)制和冷卻時(shí)間。
無(wú)需冷卻循環(huán)管路中的高溫磷酸(140 至 170℃),可直接測(cè)量。

樣品使用PFA接觸,以降低污染風(fēng)險(xiǎn)。

采用每半年一次的背景校正周期,有助于顯著減少機(jī)臺(tái)停機(jī)時(shí)間。

每3秒更新一次測(cè)量數(shù)據(jù),有助于更快速使用濃度反饋進(jìn)行控制

穩(wěn)定性

?  測(cè)量結(jié)果
樣品(實(shí)際藥液)測(cè)量 1 小時(shí),展示出良好的穩(wěn)定性。

? 測(cè)量條件
測(cè)量周期:每3秒   測(cè)量時(shí)間:1 小時(shí)   移動(dòng)平均數(shù):16 次
樣品濃度(初始樣品濃度)H3PO4:92.2% H2O: 7.8%   樣品溫度:141°C

Product name CHEMICAL SOLUTION MONITOR
Model CS-620F
Measurement principle Absorption spectroscopic method
Calculation principle Temperature compensation type multivariate analysis
Sample H3PO4/H2O

Measurable range
Repeatability

  Component Measurable range
(mass%)
Repeatability
(mass%)
Analog output
range(mass%)
1st solution H3PO4 85.00-92.00 +/-0.10 85.00-100.00
H2O 8.0-15.0 +/-0.3 0.0-15.0
? Repeatability is defined by maximum error from average (1 hour).
? In the case of low temperature measurement (140°C) and high temperature measurement (170°C) with the same chemical,
there is possibility of discrepancy (Maximum +/- 0.30%).
Conditions
of Measurement
1) Measurement interval: Approx. 3 sec. (minimum)
2) Moving average: 16 times
Connection fitting size 1 inch or 3/4 inch
Sample condition Sample temperature: 140 to 170°C
Atmospheric temperature, Chemical temperature fluctuation: within +/- 1°C (period of time : 1 hour)
Input pressure: 0.2 MPa or less
Pressure fluctuation: 0.02 MPa or less
Flow rate: 1 to 30 L/min
Air(for operation and purge) Connection port: 4 mm O.D. quick joint
Pressure: 0.2 MPa ± 0.02 MPa
Power source 100 to 230 V AC (Single-Phase), 50/60 Hz
Power consumption Approx.85 VA (Transient electric current at the time of the start is excluded)
Communication Parallel I/O, RS-232C, Analog output
Dimension (Monitor) 200 (W) × 308 (D) × 78 (H) mm
(Lamp unit) 200 (W) × 262 (D) × 100 (H) mm
(Sample cell) 240 (W) × 209 (D) × 205 (H) mm
Weight (Monitor) Approx.3.6 kg
(Lamp unit) Approx.2.8 kg
(Sample cell) Approx.3.0 kg
Ambient temperature (Monitor, Lamp unit) 20 to 30°C
(Optical fiber, Sample cell) 20 to 100°C
* Sudden temperature change should be avoided, within +/- 1°C/1hour
Ambient humidity (Monitor, Lamp unit) 40 to 70% (Should be no dew condensation)
Slanting angle of installation (Monitor, Lamp unit) Within +/-1 degree
(Sample cell) Please install so that air bubbles do not stay up.
Optical fiber Length: 5 m, Bend radius: R150 mm

CS-620F
光纖型高溫磷酸濃度計(jì)
HORIBA日本堀場(chǎng)
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