EBARA荏原 渦輪分子泵 EMT907M
EBARA荏原 渦輪分子泵 EMT907M
渦輪分子泵是一種高真空泵,利用高速旋轉的渦輪葉片與氣體分子碰撞,將氣體分子從進氣口推向排氣口,從而實現(xiàn)高真空的獲取。它由德國物理學家貝克(W. Becker)于1958年發(fā)明,是現(xiàn)代高真空和高真空技術中的核心設備。渦輪分子泵通常與前置泵(如干式泵或旋片泵)結合使用,以在寬壓力范圍內(nèi)實現(xiàn)高效抽氣。
優(yōu)點
高真空性能:渦輪分子泵能夠實現(xiàn)高真空(10^-10 Pa級別),滿足高精度工藝和科學實驗的需求。
無油污染:由于無需油液潤滑,渦輪分子泵特別適合對潔凈度要求極高的行業(yè),如半導體和光學鍍膜。
高效抽氣:對輕質氣體和中質氣體具有較高的抽氣速度,能夠快速建立并維持真空環(huán)境。
長壽命和低維護:渦輪分子泵的結構設計精密,運行穩(wěn)定,維護成本低,使用壽命長。
環(huán)保節(jié)能:無油運行減少了油類廢棄物的產(chǎn)生,符合環(huán)保要求;同時,現(xiàn)代渦輪分子泵采用高效電機和變頻控制技術,進一步降低了能耗。
適應性強:能夠處理多種氣體,包括腐蝕性氣體和易凝結氣體,適用范圍廣泛。
渦輪分子泵以其高真空性能、無油污染和高效抽氣的特點,成為現(xiàn)代高真空和高真空技術中不可或缺的關鍵設備。它在半導體制造、科學研究、航空航天和光學鍍膜等領域發(fā)揮著重要作用。隨著技術的不斷進步,渦輪分子泵正朝著更高效率、更智能化和更環(huán)保的方向發(fā)展,為未來高科技產(chǎn)業(yè)提供更強大的支持。
EBARA(荏原制作所)是日本*的工業(yè)設備制造商,成立于1912年,部位于東京。憑借百年技術積淀,荏原以“為地球環(huán)境和社會基礎設施提供創(chuàng)新解決方案”為使命,業(yè)務涵蓋水泵、風機、壓縮機、環(huán)保設備及能源系統(tǒng)等領域,產(chǎn)品以高可靠性、節(jié)能性和*技術聞名全球。
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