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ULVAC愛(ài)發(fā)科 電容壓力計(jì) CCMT-1000D
2025/07/07 14:30:57
ULVAC愛(ài)發(fā)科 電容壓力計(jì) CCMT-1000D
ULVAC愛(ài)發(fā)科 電容壓力計(jì) CCMT-1000D
“型號(hào):CCMT-D”是一種電容式壓力計(jì),用于檢測(cè)由于氣體壓力變化而在陶瓷制成的隔膜中變化的電容壓力。
由于傳感器部分具有一體式陶瓷結(jié)構(gòu),因此具有*的再現(xiàn)性和穩(wěn)定性,并且無(wú)論氣體類型如何(*壓力真空計(jì)),都可以高精度地測(cè)量中低真空區(qū)域的壓力。
長(zhǎng)處
長(zhǎng)期穩(wěn)定的可制造性
由于使用了陶瓷膜,因此具有*的耐腐蝕性
內(nèi)置溫度補(bǔ)償電路型
保護(hù)傳感器免受污垢影響的新結(jié)構(gòu)
可通過(guò)按鈕進(jìn)行 0 點(diǎn)調(diào)整。
用
用于監(jiān)測(cè)沉積設(shè)備過(guò)程中的壓力
用于真空排氣系統(tǒng)(如真空熔煉爐和真空熱處理爐)的壓力監(jiān)測(cè)
用于太陽(yáng)能電池等各種制造設(shè)備的壓力監(jiān)測(cè)
規(guī)范
型 | CCMT-D 系列 | ||
滿量程測(cè)量 |
CCMT-1000D 系列 | 133kPa 滿量程 | |
CCMT-100D 系列 | 13.3kPa 滿量程 | ||
CCMT-10D 系列 | 1.33kPa 滿量程 | ||
CCMT-1D 系列 | 133Pa F.S. | ||
分辨率 | 整箱為 0.003% | ||
精度 *1 |
溫度系數(shù)±讀數(shù)的 0.2% ± |
||
溫度系數(shù) | 零電壓 | 0.015% 滿量程 / °C | |
跨度電壓 | 0.01% 相對(duì)濕度 / °C | ||
工作溫度范圍 | 10~50°C | ||
響應(yīng)速度 | 30 毫秒或更短 | ||
氣體接觸材料 | Al2O3, Vacon70*2, SUS316*3, 玻璃焊料, AgTiCu 硬焊料 | ||
輸入功率 | DC14~30V,1W | ||
輸出 | 直流 0~10VF.S | ||
質(zhì)量 | 329g(直徑 12.7,標(biāo)準(zhǔn)型) | ||
外形尺寸 | 直徑 55 mm × 117 mm(直徑 12.7 mm,標(biāo)準(zhǔn)型) | ||
擬 合 |
標(biāo)準(zhǔn):直徑 12.7 管道 選項(xiàng):NW16KF、Cajon 8VCR |
||
溫度補(bǔ)償 | 內(nèi)置溫度補(bǔ)償電路 | ||
輸入/輸出連接器 | D-sub 15 針公頭 |
2. 核心技術(shù)及產(chǎn)品
ULVAC的核心業(yè)務(wù)涵蓋:
真空設(shè)備:干式真空泵、分子泵、真空測(cè)量?jī)x器等。
鍍膜技術(shù)(PVD/CVD):用于半導(dǎo)體、光學(xué)薄膜、太陽(yáng)能電池等。
半導(dǎo)體制造設(shè)備:濺射設(shè)備、蝕刻設(shè)備、封裝設(shè)備等。
分析測(cè)試儀器:X射線光電子能譜儀(XPS)、電子顯微鏡等。
新能源與顯示技術(shù):OLED蒸鍍?cè)O(shè)備、鋰電薄膜設(shè)備等。