日本HORIBA堀場EC-5104 排氣壓力控制器北崎供應(yīng)

2025/02/12 11:36:37

HORIBA堀場EC-5104 排氣壓力控制器北崎供應(yīng)

排氣壓力控制器

它是一個排氣壓力控制器，不斷將腔室的內(nèi)部壓力控制到任意值。高分辨率步進電機和結(jié)構(gòu)的蝶閥實現(xiàn)了高速響應(yīng)和高分辨率性能。

業(yè)務(wù)領(lǐng)域：半導(dǎo)體

產(chǎn)品類別：流體控制

制造商： HORIBA STEC， Co.， Ltd.

EC-5104 系列

框架尺寸	西北 40
氣體接觸材料	SUS-316L，氟橡膠 ®
電導(dǎo) 率（真空范圍）	0.4 ? 80 升/秒
100 mmH2O 時的出口流量（完全關(guān)閉）	20 升/分鐘

可滾動

EC-5105 系列

框架尺寸	西北 50
氣體接觸材料	SUS-316L，氟橡膠 ®
電導(dǎo) 率（真空范圍）	0.6 ? 200 升/秒
100 mmH2O 時的出口流量（完全關(guān)閉）	25 升/分鐘

可滾動

EC-5202 系列

框架尺寸	25mm 特氟龍®配件 1 英寸特氟龍®配件
氣體接觸材料	PTFE、PEEK、氟橡膠 ®
電導(dǎo) 率（真空范圍）	0.4 ? 80 升/秒
100 mmH2O 時的出口流量（完全關(guān)閉）	3 升/分鐘

可滾動

北崎8年，日本會社20年，專注領(lǐng)域如下：
儀器相關(guān)：
山高SANKO（代理）、東機產(chǎn)業(yè)TOKI（代理）、索尼克SONIC（代理）、東日技研DIT（代理）、杉山電機SUGIYAMA（代理）、愛安德AND(廠家合作）、飯島電子IIJIMA、東麗TORAY、共和KYOWA、愛安德AND、豪雅HOYA（代理）

HKKW2-2000/4P/10...

SNP-9321