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HORIBA掘場(chǎng)CS-1000 化學(xué)品監(jiān)控器北崎國(guó)際
2025/02/12 13:58:55
HORIBA掘場(chǎng)CS-1000 化學(xué)品監(jiān)控器北崎國(guó)際
HORIBA掘場(chǎng)CS-1000 化學(xué)品監(jiān)控器北崎國(guó)際
BEOL 工藝※1有助于控制含有痕量成分的多組分化學(xué)品的濃度
化學(xué)溶液中所含的 ppm 水平※2無(wú)需預(yù)處理即可檢測(cè)痕量成分。 一體化系統(tǒng)集成在一個(gè)單獨(dú)的機(jī)柜中，只需安裝在車間即可使用※3。
*1 后端生產(chǎn)線的縮寫，指的是半導(dǎo)體前端
工藝的布線形成過(guò)程*2 以 1/1,000,000 為單位的比率的概念。 對(duì)于液體成分，1 ppm 意味著 1 公斤液體中含有 1 毫克目標(biāo)成分。
*3 SEMI S2
可以檢測(cè)到 ppm 級(jí)的痕量成分
除了提高分光光度計(jì)的性能（擴(kuò)長(zhǎng)范圍和提高分辨率）外，現(xiàn)在還可以通過(guò)結(jié)合 pH 計(jì)和電導(dǎo)率計(jì)的信號(hào)進(jìn)行處理來(lái)檢測(cè) ppm 級(jí)的痕量成分。
可以同時(shí)測(cè)量?jī)煞N不同類型的化學(xué)品
儀器內(nèi)部固定了兩個(gè)樣品流路。 通過(guò)完全分離流路，可以同時(shí)測(cè)量?jī)煞N不同類型的化學(xué)品。
每半年一次，維護(hù) 4 小時(shí)
使用具有自動(dòng)校準(zhǔn)功能的 pH 計(jì)。 維護(hù)就像更換吸光度計(jì)的燈和更換 pH 計(jì)的內(nèi)部液體和校準(zhǔn)溶液瓶一樣簡(jiǎn)單。
