HORIBA掘場IR-400在線氣體監(jiān)測儀北崎國際

HORIBA掘場IR-400在線氣體監(jiān)測儀北崎國際

HORIBA掘場IR-400在線氣體監(jiān)測儀北崎國際

在半導(dǎo)體制造的沉積過程中，隨著微細(xì)加工的進(jìn)步，為了提高生產(chǎn)率，在加工后始終保持腔室清潔非常重要。 IR-400 系列是用于薄膜沉積過程的腔室清潔終點(diǎn)檢測監(jiān)視器，可實(shí)時(shí)監(jiān)控廢氣成分（SiF4、CF4）。 它優(yōu)化了干洗終點(diǎn)檢測，減少了清潔氣體的使用和時(shí)間，并通過減少腔室損壞來延長部件的使用壽命。

 

• 雙分量同時(shí)監(jiān)控
• 高靈敏度
• 氣室加熱功能
• 模擬/數(shù)字通信
• 多顯示器

 

北崎8年，日本會社20年，專注領(lǐng)域如下：
儀器相關(guān)：
山高SANKO（代理）、東機(jī)產(chǎn)業(yè)TOKI（代理）、索尼克SONIC（代理）、東日技研DIT（代理）、杉山電機(jī)SUGIYAMA（代理）、愛安德AND(廠家合作）、飯島電子IIJIMA、東麗TORAY、共和KYOWA、愛安德AND、豪雅HOYA（代理）

備件設(shè)備相關(guān)：
柴田SIBATA(代理）、 壺坂TSUBOSAKA（代理）、雅馬拓YAMATO、新光NEWKON（代理）、武藏MUSASHI（代理）、尼得科NIDEC（代理）、MRM(代理）、坂口電熱SAKAGUCHI（代理）、岡崎OKAZAKI、椿本TUSBAKI（廠家合作）、山本鍍金YAMAMOTO、馳卡沙TSUKASA、朝日分光ASAHI、東機(jī)理化EYELA、科庫森KOKUSAN

光源相關(guān)：
巖崎EYE（代理）、日森SEN（代理）、晰寫速CCS（代理）、萊寶克斯REVOX（代理）、索萊克SERIC(代理）、普拉瑞POLARION、船越龍F(tuán)UNATECH、牛尾USHIO、艾泰克ATIEC、山田YAMADA、拓普康TOPCON、歐阿希ORC、賽納SENA、英富麗INFLIDGE

電氣控制：
SIEMENS西門子（廠家合作）、MITSUBISHI三菱，OMRON歐姆龍（廠家合作）、基恩士KEYENCE（廠家合作）