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LDS3000加壓集成方式泄漏測試儀日本COSMO北崎有售
2025/03/01 11:34:44
LDS3000 / LDS3000 AQ / P3000（XL）氦氣泄漏測試
- 輕型緊湊型
- 高速檢查
- 高靈敏度
- 用于系統(tǒng)集成
基本規(guī)格
使用氦氣的泄漏測試方法
真空方法 如何對(duì)
工件內(nèi)部進(jìn)行真空
- 真空噴涂法
- 真空罩法
加壓法 對(duì)
工件中的氦氣加壓的方法
- 嗅探器
- 真空鐘罩法
- 加壓集成方式
- 轟炸方式（工件沒有加壓口的地方）
選擇測試方法的示例
每種測試方法的特點(diǎn)
此外，還提供氦氣混合器和氦氣回收裝置，以降低運(yùn)行成本，因此請(qǐng)單獨(dú)與我們聯(lián)系。
我們將根據(jù)初始成本和運(yùn)行成本提出建議。
真空法
| 測試方法 | 真空噴涂法 | 真空罩法 |
|---|---|---|
| 檢漏精度 | 1E - 09 帕·米3/sec 或更高 | 1E - 09 帕·米3/sec 或更高 |
| 整體測量 | × | ○ |
| 泄漏位置 | ○ | × |
| 自動(dòng)化 | △ | ○ |
| 初期成本 | ○ | △ |
| 運(yùn)行成本 | △ | △ |
| 維護(hù)成本 | △ | △ |
| 受影響的產(chǎn)品 |
 LDS3000 |
|
加壓方式
|
測試 方法 |
真空 Bellger 法 |
轟炸方式 | 嗅探器 | 加壓集成方式 |
|---|---|---|---|---|
|
泄漏檢測 精度 |
1E-07帕米3 /sec 或更高 | 1E-09Pa?m3 /sec 或更高 | 1E-06帕米3 /sec 或更高 | 1E-05帕米3 /sec 或更高 |
|
整體測量 |
○ | ○ | × | ○ |
|
泄漏位置識(shí)別 |
× | × | ○ | × |
| 自動(dòng)化 | ○ | ○ | △ | ○ |
|
初期 成本 |
× | ○ | ○ | △ |
|
運(yùn)行 成本 |
× | △ | × | × |
|
維護(hù)成本 |
× | × | △ | △ |
| 受影響的產(chǎn)品 |
LDS3000 |
 P3000（XL） 系列 |
LDS3000AQ |
|
測試方法詳細(xì)信息
真空法
真空噴涂法
這是一種通過對(duì)工件內(nèi)部進(jìn)行真空排氣，用噴槍從外部噴射氦氣時(shí)，檢測泄漏到工件中的氦氣的方法。
真空罩法
這是一種對(duì)工件內(nèi)部進(jìn)行真空抽真空并用罩蓋住，并在罩內(nèi)對(duì)氦氣加壓以檢測泄漏到工件中的氦氣的方法。
加壓方式
嗅探器
這是一種在對(duì)工件內(nèi)部進(jìn)行真空抽吸后對(duì)氦氣加壓，然后用吸槍探頭將泄漏的氦氣吸出以檢測泄漏的方法。
真空鐘罩法
這是一種將工件放置在腔室中，對(duì)工件進(jìn)行抽真空，然后對(duì)氦氣加壓，對(duì)腔室內(nèi)部進(jìn)行抽真空以將腔室內(nèi)部排出以檢測氦氣泄漏到真空室中的方法。
加壓集成方式
這是一種將工件放入罩中，對(duì)工件進(jìn)行抽真空，并對(duì)氦氣加壓，以將從泄漏點(diǎn)泄漏到罩內(nèi)的氦氣積累一段時(shí)間，并檢測罩中積聚的氦氣（濃度）的方法。
轟炸方式
這是將工件放入罐中，抽真空一定時(shí)間，用氦氣加壓一定時(shí)間，然后將工件從罐中取出，將工件放入腔室中，對(duì)腔室進(jìn)行抽真空，以檢測因泄漏而進(jìn)入工件的氦氣。
泄漏測試設(shè)備 加壓積分法
加壓積分法電路配置
氦氣檢漏儀 LDS3000AQ 電路配置
氦氣檢測傳感器原理
180° 磁場脫毛質(zhì)譜儀
- 進(jìn)入LDS3000AQ的氦氣通過渦輪分子泵的反向擴(kuò)散現(xiàn)象到達(dá)分析管。
- 到達(dá)分析儀的分子被細(xì)絲的電子轉(zhuǎn)化為 + 離子，由于加速電壓，它們沿 - 方向移動(dòng)。
- + 當(dāng)離子通過磁場時(shí)，軌道根據(jù)氣體的質(zhì)量進(jìn)行劃分。
- 只有帶有 + 離子的氦氣到達(dá)離子收集器，并被前置放大器放大為電流進(jìn)行測量。
泄漏檢測設(shè)備 真空鐘罩法
真空鐘罩式反應(yīng)法電路配置
氦氣檢測器 LDS3000 電路配置
還有一個(gè)帶有內(nèi)置閥的集成檢漏儀，可針對(duì)每個(gè)連接壓力自動(dòng)切換每個(gè)端口。請(qǐng)隨時(shí)與我們聯(lián)系以獲取規(guī)格。
氦氣檢測原理
180° 磁場脫毛質(zhì)譜儀
- 進(jìn)入LDS3000的氦氣通過渦輪分子泵的反向擴(kuò)散現(xiàn)象到達(dá)分析管。
- 到達(dá)分析儀的分子被細(xì)絲的電子轉(zhuǎn)化為 + 離子，由于加速電壓，它們沿 - 方向移動(dòng)。
- + 當(dāng)離子通過磁場時(shí)，軌道根據(jù)氣體的質(zhì)量進(jìn)行劃分。
- 只有帶有 + 離子的氦氣到達(dá)離子收集器，并被前置放大器放大為電流進(jìn)行測量。
