HORIBA掘場(chǎng)CS-1000 化學(xué)品監(jiān)控器北崎國(guó)際

2025/02/12 13:58:55

BEOL 工藝※1有助于控制含有痕量成分的多組分化學(xué)品的濃度

化學(xué)溶液中所含的 ppm 水平※2無(wú)需預(yù)處理即可檢測(cè)痕量成分。一體化系統(tǒng)集成在一個(gè)單獨(dú)的機(jī)柜中，只需安裝在車間即可使用※3。

*1 后端生產(chǎn)線的縮寫，指的是半導(dǎo)體前端
工藝的布線形成過(guò)程*2 以 1/1,000,000 為單位的比率的概念。對(duì)于液體成分，1 ppm 意味著 1 公斤液體中含有 1 毫克目標(biāo)成分。
*3 SEMI S2

可以檢測(cè)到 ppm 級(jí)的痕量成分

除了提高分光光度計(jì)的性能（擴(kuò)長(zhǎng)范圍和提高分辨率）外，現(xiàn)在還可以通過(guò)結(jié)合 pH 計(jì)和電導(dǎo)率計(jì)的信號(hào)進(jìn)行處理來(lái)檢測(cè) ppm 級(jí)的痕量成分。

可以同時(shí)測(cè)量?jī)煞N不同類型的化學(xué)品

儀器內(nèi)部固定了兩個(gè)樣品流路。通過(guò)完全分離流路，可以同時(shí)測(cè)量?jī)煞N不同類型的化學(xué)品。

每半年一次，維護(hù) 4 小時(shí)

使用具有自動(dòng)校準(zhǔn)功能的 pH 計(jì)。維護(hù)就像更換吸光度計(jì)的燈和更換 pH 計(jì)的內(nèi)部液體和校準(zhǔn)溶液瓶一樣簡(jiǎn)單。

【基本規(guī)格】

產(chǎn)品名稱	化學(xué)品監(jiān)控系統(tǒng)
型	CS-1000 型
測(cè)量項(xiàng)目	化學(xué)濃度、電導(dǎo)率、pH 值
測(cè)量原理	吸收光譜、雙極導(dǎo)電、玻璃電極
目標(biāo)化學(xué)品	半導(dǎo)體制造工藝中使用的多組分化學(xué)品（詳情請(qǐng)聯(lián)系我們）
外形尺寸	700 （W） × 610 （D） × 1640 （H） mm（不包括突出部分）
質(zhì)量	約 200 公斤
接液材料	柜式（PFA、PTFE）分光光度計(jì)（PFA、PTFE、石英、Kalrez?）電導(dǎo)率儀（PFA、碳、Kalrez?） pH 計(jì) - 排水（PVC、PTFE、玻璃、ETFE、PEEK、烯烴樹脂、THV、PFA、 Kalrez?， PharMed BPT） *Karlez? 是 DuPont de Nemours， Inc. 的商標(biāo)。
標(biāo)準(zhǔn)	CE ， KC ， FCC 規(guī)則 Part15 ， UKCA ， SEMI S2

可滾動(dòng)

[安裝環(huán)境]

環(huán)境溫度	20~30 °C（室溫?zé)o突然變化，±0.5 °C/1 小時(shí)以內(nèi)）
環(huán)境濕度	40~70%RH （無(wú)冷凝）
權(quán)力	AC 190~240V（單相），50/60Hz
功耗	約 355 VA（不包括啟動(dòng)時(shí)的瞬態(tài)電流）
通信	模擬輸出：4-20mA，串行輸入/輸出：RS-485 Modbus（RTU），并行輸入/輸出 * 但是，當(dāng)測(cè)量值未更新時(shí)，例如設(shè)備異常時(shí)，它固定為 1.5mA。

可滾動(dòng)

[保養(yǎng)]

消耗品	由客戶或我們的服務(wù)工程師更換零件鹵素?zé)簦ㄊ褂脡勖s 1 年）氘燈（使用壽命約半年）試劑 pH 4（符合 JIS 標(biāo)準(zhǔn)）、pH 7（符合 JIS）、KCl（3.33 moL AgCl 飽和液體）（更換周期：約半年）

可滾動(dòng)

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